行星齒輪傳動裝置總重量，一般情況下與齒輪的重量成正比，而齒輪的重量與其材料和熱處理硬度又有很強(qiáng)的關(guān)聯(lián)。例如，在相同功率下，滲碳淬火齒輪的重量將是調(diào)質(zhì)齒輪重量的1/3左右。所以針對行星齒輪減速機(jī)的結(jié)構(gòu)特性和齒輪的載荷性質(zhì)，應(yīng)該廣泛采用硬齒面齒輪。

 眾所周知，行星減速機(jī)獲得硬齒面齒輪的熱處理方法很多，如表面淬火，整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，這些方法根據(jù)行星齒輪減速機(jī)的特點(diǎn)考慮選定。下面簡單分析一下行星減速機(jī)內(nèi)部齒輪的熱處理方法。

1、表面淬火
常見的表面淬火方法有高頻淬火和火焰淬火兩種，對小尺寸齒輪采用前者，對大尺寸齒輪采用后者。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，效果好。表面淬火齒面硬度可達(dá)洛氏硬度45~55。
2、滲碳(C)淬火
結(jié)果滲碳淬火后的齒輪具有相對較大的承載能力，但必須采用精加工工序(磨齒)來消除熱處理變形，以保證精度（精確度）。
滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.2%~0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58~62HRC。滾珠絲桿升降機(jī)行星減速機(jī)的特點(diǎn)是體積小，輸出扭矩大，傳動效率高，只要有這些要求的地方都可以用。若低于57HRC時，齒面強(qiáng)度顯著下降，高于62HRC時則脆性會增加。齒輪心部硬度一般以310~330HBW為宜。滲碳淬火后的齒輪硬度，有效滲碳深度規(guī)定為表面至硬度52.5HRC處的深度。
滲碳(C)淬火除了使齒輪心部硬度有所提高外，還可使齒輪 大拉應(yīng)力區(qū)的應(yīng)力減小。因此磨齒時不能磨齒根部分，滾齒時要用留磨量以便滾刀。
3、滲氮
滲氮可保證齒輪在變形很小的條件下達(dá)到很高的齒面硬度和耐磨耗性，熱處理后不再進(jìn)行后的精加工，提高齒輪承載能力
4、嚙合齒輪的硬度組合
當(dāng)大、小齒輪均為軟齒面時，小齒輪的齒面硬度應(yīng)高于大齒輪。而當(dāng)兩輪均為硬齒面且硬度較高時，則取兩輪硬度相同。